一种氮化铝单晶衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411361622.7

申请日：

2024-09-27

公开(公告)号：

CN118880471A

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

冯家伟施纯锡

申请人：

福建华清电子材料科技有限公司

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)灵石路2号

IPC主分类号：

C30B33/00

IPC分类号：

C30B29/40 C23C14/20 C23C14/34 C08F220/14 C08F120/06 C08F220/06 C08F220/18 C08F220/46 C08F222/14 C09D133/12 C09D133/02

代理机构：

泉州协创知识产权代理事务所(普通合伙) 35231

代理人：

郑沈微

法律状态：

公开

国省代码：

福建省泉州市

引用

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共 50 条

[1]

一种氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

冯家伟 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN118880471B ,2025-01-10

[2]

氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

王增华 ;

程红娟 ;

王英民 ;

张弛 ;

张丽 ;

高飞 ;

张颖 .

中国专利 :CN120119323A ,2025-06-10

[3]

氮化铝单晶复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117690780B ,2024-06-14

[4]

氮化铝单晶复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117690780A ,2024-03-12

[5]

一种氮化铝单晶衬底加工方法 [P].

张弛 ;

程红娟 ;

王英民 ;

李晖 ;

高飞 ;

王磊 ;

张丽 ;

王增华 .

中国专利 :CN115635379A ,2023-01-24

[6]

氮化铝单晶衬底的加工方法及紫外发光器件的制备方法 [P].

王新强 ;

刘上锋 ;

袁冶 ;

王钇心 ;

康俊杰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN114050104B ,2022-02-15

[7]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836A ,2022-12-27

[8]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836B ,2024-01-26

[9]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

曹家康 ;

李泰 ;

康俊杰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN115527837A ,2022-12-27

[10]

氮化铝单晶的制备方法和制备氮化铝单晶的装置 [P].

武红磊 ;

钟旭辉 ;

覃佐燕 .

中国专利 :CN109371467A ,2019-02-22

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	公开	公开
2025-01-10	授权	授权
2024-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 33/00申请日:20240927