共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-30 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-15 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/20 申请日:20211112 |
| 2022-03-29 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/20 变更事项:发明人 变更前:王新强 刘上锋 袁冶 王钇心 康俊杰 罗巍 万文婷 变更后:王新强 刘上锋 袁冶 王钇心 康俊杰 罗巍 |