MEMS高量程加速度传感器的封装方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110173243.1

申请日：

2011-06-25

公开(公告)号：

CN102259827A

公开(公告)日：

2011-11-30

发明(设计)人：

刘俊石云波唐军杨玉华李平张贺

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701660823 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2011101732431 变更事项:发明人变更前:刘俊;石云波;唐军;杨玉华;李平;张贺变更后:石云波;刘俊;唐军;杨玉华;李平;张贺
2011-11-30	公开	公开
2014-06-25	授权	授权
2012-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101169310001 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2011101732431 申请日:20110625

共 50 条

[1]

MEMS高量程加速度传感器件 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN104880572A ,2015-09-02

[2]

高量程加速度传感器的机械滤波方法 [P].

石云波 ;

刘俊 ;

唐军 ;

钱爰颖 ;

潘龙丽 ;

李杰 ;

张晓明 ;

杨卫 ;

郭涛 ;

马喜宏 ;

鲍爱达 .

中国专利 :CN103245798A ,2013-08-14

[3]

MEMS加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN203385753U ,2014-01-08

[4]

MEMS加速度传感器 [P].

孙志远 .

中国专利 :CN206975061U ,2018-02-06

[5]

MEMS加速度传感器 [P].

亚历桑德鲁·罗基 ;

阿道夫·詹巴斯蒂亚尼 .

中国专利 :CN103185809A ,2013-07-03

[6]

MEMS加速度传感器 [P].

杨斌 .

中国专利 :CN101871952A ,2010-10-27

[7]

低量程加速度传感器 [P].

李永红 ;

阎贵平 ;

王敬文 ;

张保宁 ;

刘国忠 ;

侯兴辉 .

中国专利 :CN2662251Y ,2004-12-08

[8]

一种高量程加速度传感器封装中的平面互连结构及方法 [P].

石云波 ;

刘俊 ;

唐军 ;

马喜宏 ;

郭涛 ;

杨卫 ;

李杰 ;

张晓明 ;

周智君 ;

潘龙丽 ;

钱爰颖 .

中国专利 :CN102928621B ,2013-02-13

[9]

高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法 [P].

石云波 ;

刘俊 ;

唐军 ;

马宗敏 ;

李策 ;

陈艳香 ;

智丹 ;

周智君 ;

董胜飞 ;

杨志才 ;

冯恒振 .

中国专利 :CN104569498B ,2015-04-29

[10]

无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法 [P].

石云波 ;

刘俊 ;

唐军 ;

马宗敏 ;

陈艳香 ;

李祥 ;

李策 ;

智丹 .

中国专利 :CN104360102A ,2015-02-18

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