一种高量程加速度传感器封装中的平面互连结构及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210402139.X
申请日
2012-10-22
公开(公告)号
CN102928621B
公开(公告)日
2013-02-13
发明(设计)人
石云波 刘俊 唐军 马喜宏 郭涛 杨卫 李杰 张晓明 周智君 潘龙丽 钱爰颖
申请人
申请人地址
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
IPC主分类号
G01P1500
IPC分类号
代理机构
太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100
代理人
朱源
法律状态
著录事项变更
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
MEMS高量程加速度传感器的封装方法 [P]. 
刘俊 ;
石云波 ;
唐军 ;
杨玉华 ;
李平 ;
张贺 .
中国专利 :CN102259827A ,2011-11-30
[2]
高量程加速度传感器的机械滤波方法 [P]. 
石云波 ;
刘俊 ;
唐军 ;
钱爰颖 ;
潘龙丽 ;
李杰 ;
张晓明 ;
杨卫 ;
郭涛 ;
马喜宏 ;
鲍爱达 .
中国专利 :CN103245798A ,2013-08-14
[3]
高量程加速度传感器陶瓷硅陶瓷三层无引线封装结构 [P]. 
石云波 ;
刘俊 ;
唐军 ;
曹慧亮 ;
焦静静 ;
郭涛 ;
高晋阳 ;
李杰 ;
张晓明 ;
马宗敏 ;
赵永祺 ;
赵思晗 ;
许鑫 ;
李飞 ;
王彦林 ;
张英杰 ;
米振国 ;
张婕 ;
刘玉 .
中国专利 :CN109813931B ,2019-05-28
[4]
一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构 [P]. 
彭天放 ;
乔昱阳 ;
夏阳 ;
韩盈舟 .
中国专利 :CN220709182U ,2024-04-02
[5]
一种加速度传感器敏感组件及加速度传感器芯片结构 [P]. 
彭天放 ;
乔昱阳 ;
夏阳 ;
韩盈舟 .
中国专利 :CN117192153B ,2025-11-04
[6]
高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法 [P]. 
石云波 ;
刘俊 ;
唐军 ;
马宗敏 ;
李策 ;
陈艳香 ;
智丹 ;
周智君 ;
董胜飞 ;
杨志才 ;
冯恒振 .
中国专利 :CN104569498B ,2015-04-29
[7]
一种双量程加速度传感器结构及制作方法 [P]. 
王家畴 ;
郑梦瑶 ;
李昕欣 .
中国专利 :CN119001144B ,2025-09-12
[8]
一种双量程加速度传感器结构及制作方法 [P]. 
王家畴 ;
郑梦瑶 ;
李昕欣 .
中国专利 :CN119001144A ,2024-11-22
[9]
一种低量程加速度传感器 [P]. 
杜诗雨 ;
耿岩 ;
高萌 .
中国专利 :CN215768632U ,2022-02-08
[10]
一种加速度传感器制备方法及加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
李哲 ;
庄瑞芬 .
中国专利 :CN120971759A ,2025-11-18