基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410482761.5

申请日：

2014-09-19

公开(公告)号：

CN104992912A

公开(公告)日：

2015-10-21

发明(设计)人：

藤原友则柴山宣之吉田幸史柴田哲弥仲野彰义

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

宋晓宝;向勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	授权	授权
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633530268 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014104827615 申请日:20140919
2015-10-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN110690146A ,2020-01-14

[2]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN110600365B ,2019-12-20

[3]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

阿部博史 ;

太田乔 ;

石津岳明 ;

小林健司 ;

村元僚 ;

根来世 ;

奥谷学 ;

酒井渉 .

日本专利 :CN113053728B ,2024-08-27

[4]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

吉富大地 ;

井上一树 ;

岩见优树 ;

石井弘晃 .

中国专利 :CN110660647A ,2020-01-07

[5]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

谷泽成规 ;

宫路信行 ;

髙冈诚 ;

泽崎尚树 ;

奥村刚 ;

三浦淳靖 .

中国专利 :CN109427548A ,2019-03-05

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

武明励 ;

安藤幸嗣 ;

前川直嗣 ;

石井弘晃 ;

安武阳介 .

中国专利 :CN110226216A ,2019-09-10

[7]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

林航之介 ;

大田垣崇 ;

长岛裕次 ;

矶明典 .

中国专利 :CN105103268B ,2015-11-25

[8]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

阿部博史 ;

太田乔 ;

石津岳明 ;

小林健司 ;

村元僚 ;

根来世 ;

奥谷学 ;

酒井渉 .

中国专利 :CN113053728A ,2021-06-29

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

吉富大地 ;

井上一树 ;

岩见优树 ;

石井弘晃 .

中国专利 :CN106024581B ,2016-10-12

[10]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

大泽瑞树 ;

戎居博志 .

日本专利 :CN111052315B ,2024-02-20

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