基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480019122.3

申请日：

2014-03-25

公开(公告)号：

CN105103268B

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

林航之介大田垣崇长岛裕次矶明典

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G02F113 G02F11333 H01L21304 H01L21306

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

徐冰冰;黄剑锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-17	授权	授权
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638517692 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:2014800191223 申请日:20140325
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN104992912A ,2015-10-21

[2]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

阿部博史 ;

太田乔 ;

石津岳明 ;

小林健司 ;

村元僚 ;

根来世 ;

奥谷学 ;

酒井渉 .

日本专利 :CN113053728B ,2024-08-27

[3]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

吉富大地 ;

井上一树 ;

岩见优树 ;

石井弘晃 .

中国专利 :CN110660647A ,2020-01-07

[4]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

谷泽成规 ;

宫路信行 ;

髙冈诚 ;

泽崎尚树 ;

奥村刚 ;

三浦淳靖 .

中国专利 :CN109427548A ,2019-03-05

[5]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

藤原友则 ;

柴山宣之 ;

吉田幸史 ;

柴田哲弥 ;

仲野彰义 .

中国专利 :CN110690146A ,2020-01-14

[6]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

武明励 ;

安藤幸嗣 ;

前川直嗣 ;

石井弘晃 ;

安武阳介 .

中国专利 :CN110226216A ,2019-09-10

[7]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

阿部博史 ;

太田乔 ;

石津岳明 ;

小林健司 ;

村元僚 ;

根来世 ;

奥谷学 ;

酒井渉 .

中国专利 :CN113053728A ,2021-06-29

[8]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

吉富大地 ;

井上一树 ;

岩见优树 ;

石井弘晃 .

中国专利 :CN106024581B ,2016-10-12

[9]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

大泽瑞树 ;

戎居博志 .

日本专利 :CN111052315B ,2024-02-20

[10]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

樋口鲇美 ;

岩崎晃久 .

中国专利 :CN110214365A ,2019-09-06

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