一种可测频研磨机

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020202635.7
申请日
2010-05-25
公开(公告)号
CN201711859U
公开(公告)日
2011-01-19
发明(设计)人
严锋杰 徐国斌
申请人
申请人地址
314001 浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路23号
IPC主分类号
B24B3700
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种研磨机构和研磨机 [P]. 
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[2]
一种硅片研磨机用测厚装置 [P]. 
沈益军 ;
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饶伟星 ;
肖世豪 ;
苏文霞 ;
梁奎 ;
冯小娟 ;
孟柱 ;
余天威 .
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[3]
一种研磨机 [P]. 
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[4]
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[6]
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[7]
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[10]
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