感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580013242.7

申请日：

2015-03-16

公开(公告)号：

CN106104381B

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

安西信裕笹野大辅古贺寻子井上泰平赖末友裕

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7027

IPC分类号：

G03F7004 G03F7031 G03F7075

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-13	授权	授权
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690426220 IPC(主分类):G03F 7/027 专利申请号:2015800132427 申请日:20150316
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置 [P].

安西信裕 ;

笹野大辅 ;

古贺寻子 ;

井上泰平 ;

赖末友裕 .

中国专利 :CN110941142B ,2020-03-31

[2]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

小仓知士 ;

吉田真由纪 ;

藤冈孝亘 .

日本专利 :CN120848108A ,2025-10-28

[3]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及半导体装置 [P].

藤田充 ;

森田凉子 ;

平田竜也 .

中国专利 :CN102375336A ,2012-03-14

[4]

感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法 [P].

赖末友裕 ;

中村光孝 ;

井上泰平 ;

平田竜也 ;

佐佐木隆弘 .

中国专利 :CN108475020A ,2018-08-31

[5]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

高靖驰 ;

小仓知士 ;

岩间翔太 .

日本专利 :CN120129875A ,2025-06-10

[6]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及固化膜、及半导体装置 [P].

村上航平 ;

矢本和久 ;

佐藤友香 ;

涩井智史 .

日本专利 :CN120958380A ,2025-11-14

[7]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及半导体装置 [P].

田村信史 ;

平田龙也 ;

吉田雅彦 .

中国专利 :CN104285184B ,2015-01-14

[8]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

岩间翔太 .

日本专利 :CN118363270A ,2024-07-19

[9]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

涩井智史 .

中国专利 :CN102047179A ,2011-05-04

[10]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

赖末友裕 ;

井上泰平 ;

井户義人 ;

中村光孝 ;

汤之口智惠 ;

笹野大辅 ;

佐佐木隆弘 .

中国专利 :CN107850844A ,2018-03-27

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