感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及固化膜、及半导体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480022823.6

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN120958380A

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

村上航平矢本和久佐藤友香涩井智史

申请人：

旭化成株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F7/037

IPC分类号：

C08F2/44 G03F7/004 G03F7/20 G03F7/027 G03F7/075

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

李茂家;段然

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/037申请日:20240329
2025-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及固化膜 [P].

涩井智史 ;

村上航平 ;

矢本和久 ;

佐藤友香 .

日本专利 :CN121039568A ,2025-11-28

[2]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及半导体装置 [P].

田村信史 ;

平田龙也 ;

吉田雅彦 .

中国专利 :CN104285184B ,2015-01-14

[3]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及半导体装置 [P].

藤田充 ;

森田凉子 ;

平田竜也 .

中国专利 :CN102375336A ,2012-03-14

[4]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

岩间翔太 .

日本专利 :CN118363270A ,2024-07-19

[5]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

小仓知士 ;

吉田真由纪 ;

藤冈孝亘 .

日本专利 :CN120848108A ,2025-10-28

[6]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

高靖驰 ;

小仓知士 ;

岩间翔太 .

日本专利 :CN120129875A ,2025-06-10

[7]

负型感光性树脂组合物及固化浮雕图案的制造方法 [P].

矢本和久 ;

渋井智史 ;

村上航平 .

日本专利 :CN118938601A ,2024-11-12

[8]

感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

福原庆 ;

岩井悠 .

中国专利 :CN110462514A ,2019-11-15

[9]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置 [P].

安西信裕 ;

笹野大辅 ;

古贺寻子 ;

井上泰平 ;

赖末友裕 .

中国专利 :CN106104381B ,2016-11-09

[10]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、以及半导体装置 [P].

安西信裕 ;

笹野大辅 ;

古贺寻子 ;

井上泰平 ;

赖末友裕 .

中国专利 :CN110941142B ,2020-03-31

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