一种适用于溅射镀膜机的加热方法及加热系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110153521.0

申请日：

2021-02-04

公开(公告)号：

CN112626481A

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

卜钦钦高文晶赵磊吴凯

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

上海申蒙商标专利代理有限公司 31214

代理人：

周宇凡

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20210204
2021-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种适用于溅射镀膜机的加热系统 [P].

卜钦钦 ;

高文晶 ;

赵磊 ;

吴凯 .

中国专利 :CN215251140U ,2021-12-21

[2]

溅射镀膜机的加热装置 [P].

钱文朔 ;

刘靖 .

中国专利 :CN309211424S ,2025-04-01

[3]

一种用于溅射镀膜机的移栽机构及溅射镀膜机 [P].

夏伟 ;

沈聚丰 ;

李龙哲 ;

朱显君 ;

李花 ;

周征华 ;

马玉升 .

中国专利 :CN220926921U ,2024-05-10

[4]

一种溅射镀膜机的加热腔的冷却装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119287327B ,2025-06-03

[5]

一种溅射镀膜机的加热腔的冷却装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119287327A ,2025-01-10

[6]

一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置 [P].

海玉龙 ;

郭红波 ;

周杰 .

中国专利 :CN210736877U ,2020-06-12

[7]

一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置 [P].

张基伟 ;

夏晓谦 .

中国专利 :CN117305791B ,2024-04-09

[8]

一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223409707U ,2025-10-03

[9]

一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置 [P].

刘年生 ;

唐欢欢 ;

朱嘉琦 ;

王凯 ;

杨磊 ;

高岗 ;

李明 ;

马帅 ;

朱九菊 .

中国专利 :CN120700455B ,2025-11-18

[10]

一种用于磁控溅射镀膜机的工件烘烤加热装置 [P].

刘年生 ;

唐欢欢 ;

朱嘉琦 ;

王凯 ;

杨磊 ;

高岗 ;

李明 ;

马帅 ;

朱九菊 .

中国专利 :CN120700455A ,2025-09-26

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