一种含铝靶材的自动抛光工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110473542.0

申请日：

2021-04-29

公开(公告)号：

CN113084674A

公开(公告)日：

2021-07-09

发明(设计)人：

姚力军窦兴贤王学泽王青松杨欢

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区大禹路1555号

IPC主分类号：

B24B2700

IPC分类号：

B24B2100 B24B2118 B24B4900 B24B4100

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 27/00 申请日:20210429
2021-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种含钼靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN112975593A ,2021-06-18

[2]

一种含铜靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN113182941A ,2021-07-30

[3]

一种钕铝靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111958333A ,2020-11-20

[4]

一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24

[5]

一种LCD靶材侧面抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

谢鹏 .

中国专利 :CN111421393A ,2020-07-17

[6]

一种含钪靶材的抛光清洁方法 [P].

张俊飞 ;

蔡新志 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN115805509B ,2025-07-08

[7]

一种LCD平面靶材侧边抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

吴先帮 .

中国专利 :CN111775030A ,2020-10-16

[8]

一种含铝靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周友平 ;

周敏 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN114717525B ,2024-01-30

[9]

一种含铝靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周友平 ;

周敏 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN114717525A ,2022-07-08

[10]

一种LCD靶材的表面抛光方法 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

张晓驰 ;

范文新 .

中国专利 :CN118288118A ,2024-07-05

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