一种含钪靶材的抛光清洁方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211463496.7

申请日：

2022-11-21

公开(公告)号：

CN115805509B

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

张俊飞蔡新志童培云朱刘

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

B24B27/033 B24B27/00

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

王伟

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种LCD靶材的表面抛光方法 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

张晓驰 ;

范文新 .

中国专利 :CN118288118A ,2024-07-05

[2]

一种靶材抛光方法 [P].

徐雷 ;

岳晓聪 ;

黄宇彬 ;

蔡新志 ;

童培云 .

中国专利 :CN119077596A ,2024-12-06

[3]

一种LCD旋转靶材的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

刘胜秀 ;

周伟君 ;

王青松 .

中国专利 :CN117718806A ,2024-03-19

[4]

一种ITO靶材的抛光清洗方法 [P].

余芳 ;

文崇斌 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113231893A ,2021-08-10

[5]

一种含铝靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN113084674A ,2021-07-09

[6]

一种含钼靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN112975593A ,2021-06-18

[7]

一种含铜靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN113182941A ,2021-07-30

[8]

一种靶材表面抛光清洁方法与系统 [P].

蔡锦龙 ;

李佳珍 ;

陈柏熹 .

中国专利 :CN120714966A ,2025-09-30

[9]

一种靶材表面抛光装置 [P].

常代展 ;

王雷 .

中国专利 :CN217097172U ,2022-08-02

[10]

狗骨型靶材溅射面抛光方法及抛光设备 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

范文新 .

中国专利 :CN120791525A ,2025-10-17

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