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狗骨型靶材溅射面抛光方法及抛光设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511295539.9
申请日：
2025-09-11
公开(公告)号：
CN120791525A
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
姚力军 赵浩 范文新
申请人：
广东江丰电子材料有限公司 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址：
516001 广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房
IPC主分类号：
B24B1/00
IPC分类号：
B24B29/02 B24B41/06 B24B49/04 B24B55/06 B24B51/00 B24B41/00
代理机构：
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人：
李凤云
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-17 公开 公开
2025-11-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 1/00申请日:20250911
共 50 条
[1]
一种靶材溅射面的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
徐礼升 .
中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10
[2]
一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
陈石 ;
廖培君 .
中国专利 :CN115415672B ,2025-03-25
[3]
一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
陈石 ;
廖培君 .
中国专利 :CN115415672A ,2022-12-02
[4]
一种一体靶材溅射面的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
孙海封 ;
王青松 ;
陈鹏 .
中国专利 :CN120080201A ,2025-06-03
[5]
一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
李岢 .
中国专利 :CN112809455A ,2021-05-18
[6]
一种靶材抛光方法 [P]. 
徐雷 ;
岳晓聪 ;
黄宇彬 ;
蔡新志 ;
童培云 .
中国专利 :CN119077596A ,2024-12-06
[7]
抛光设备及抛光方法 [P]. 
徐荣彬 ;
徐碧聪 .
中国专利 :CN104339254A ,2015-02-11
[8]
一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P]. 
姚力军 ;
窦兴贤 ;
王学泽 ;
王青松 ;
刘明健 .
中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24
[9]
靶材抛光机 [P]. 
张兵 ;
曾墩风 ;
石煜 .
中国专利 :CN216179327U ,2022-04-05
[10]
一种LCD旋转靶材的抛光方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
刘胜秀 ;
周伟君 ;
王青松 .
中国专利 :CN117718806A ,2024-03-19
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