一种一体靶材溅射面的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510492946.2

申请日：

2025-04-18

公开(公告)号：

CN120080201A

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

姚力军孙海封王青松陈鹏

申请人：

合肥江丰电子材料有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区大禹路1555号

IPC主分类号：

B24B1/00

IPC分类号：

B24B21/00 B24B21/18 B24B49/16 B24B49/00 B24B47/20

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

牛海燕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省合肥市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 1/00申请日:20250418
2025-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[2]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672B ,2025-03-25

[3]

一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112809455A ,2021-05-18

[4]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672A ,2022-12-02

[5]

一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24

[6]

靶材溅射面的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

梁泽民 .

中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06

[7]

一种钕铝靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111958333A ,2020-11-20

[8]

一种旋转靶材溅射面的车削方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN113001114A ,2021-06-22

[9]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[10]

一种钽靶材及其溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

冯周瑜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN112828541A ,2021-05-25

← 1 2 3 4 5 →