一种钽靶材及其溅射面的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110002846.9

申请日：

2021-01-04

公开(公告)号：

CN112828541A

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽冯周瑜罗明浩

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B23P1500

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	公开	公开
2021-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B23P 15/00 申请日:20210104

共 50 条

[1]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[2]

一种旋转靶材溅射面的车削方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN113001114A ,2021-06-22

[3]

靶材组件溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104668883A ,2015-06-03

[4]

靶材溅射面的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

梁泽民 .

中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06

[5]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[6]

一种钽靶材焊接面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN112475676B ,2021-03-12

[7]

一种一体靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

王青松 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN120080201A ,2025-06-03

[8]

溅射用靶材及其制造方法 [P].

小泽诚 ;

安东勋雄 .

中国专利 :CN106574359A ,2017-04-19

[9]

一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112809455A ,2021-05-18

[10]

一种钽靶材反溅射层的加工方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN113846299A ,2021-12-28

← 1 2 3 4 5 →