一种钛靶材溅射面的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110241077.8

申请日：

2021-03-04

公开(公告)号：

CN113021125B

公开(公告)日：

2021-06-25

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽钱百峰

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B24B1900

IPC分类号：

B24B2700 B24B3700 C23C1434

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	授权	授权
2021-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 19/00 申请日:20210304
2021-06-25	公开	公开

共 50 条

[1]

钛靶材表面的处理方法 [P].

姚立军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

俞柏森 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101597729A ,2009-12-09

[2]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672B ,2025-03-25

[3]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672A ,2022-12-02

[4]

一种旋转靶材溅射面的车削方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN113001114A ,2021-06-22

[5]

一种钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120210749A ,2025-06-27

[6]

一种钽靶材及其溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

冯周瑜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN112828541A ,2021-05-25

[7]

靶材溅射面的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

梁泽民 .

中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06

[8]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[9]

一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN113042974A ,2021-06-29

[10]

一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24

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