钛靶材表面的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910139740.2

申请日：

2009-06-30

公开(公告)号：

CN101597729A

公开(公告)日：

2009-12-09

发明(设计)人：

姚立军潘杰王学泽俞柏森鲍伟江刘庆

申请人：

申请人地址：

315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号

IPC主分类号：

C22F118

IPC分类号：

C23C1414 C23C1434

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-09	公开	公开
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183794182 IPC(主分类):C22F 1/18 专利申请号:2009101397402 公开日:20091209

共 50 条

[1]

铝靶材表面的处理方法 [P].

姚立军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

俞柏森 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101613849A ,2009-12-30

[2]

铜靶材表面的处理方法 [P].

姚立军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

俞柏森 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101597727A ,2009-12-09

[3]

铜靶材表面的处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106346344A ,2017-01-25

[4]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[5]

一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN113042974A ,2021-06-29

[6]

一种钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120210749A ,2025-06-27

[7]

钛靶材的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101613851B ,2009-12-30

[8]

钛靶材的溅射表面加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN105755435A ,2016-07-13

[9]

一种靶材表面的加工方法 [P].

姚力军 ;

戴振茜 ;

钟伟华 .

中国专利 :CN120138571A ,2025-06-13

[10]

一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周敏 .

中国专利 :CN113481475A ,2021-10-08

← 1 2 3 4 5 →