铜靶材表面的处理方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510417001.0
申请日
2015-07-15
公开(公告)号
CN106346344A
公开(公告)日
2017-01-25
发明(设计)人
姚力军 潘杰 相原俊夫 大岩一彦 王学泽 李健成
申请人
申请人地址
315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
IPC主分类号
B24B2902
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
高静;吴敏
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
铜靶材表面的处理方法 [P]. 
姚立军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
俞柏森 ;
鲍伟江 ;
刘庆 .
中国专利 :CN101597727A ,2009-12-09
[2]
铝靶材表面的处理方法 [P]. 
姚立军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
俞柏森 ;
鲍伟江 ;
刘庆 .
中国专利 :CN101613849A ,2009-12-30
[3]
钛靶材表面的处理方法 [P]. 
姚立军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
俞柏森 ;
鲍伟江 ;
刘庆 .
中国专利 :CN101597729A ,2009-12-09
[4]
靶材组件溅射面的处理方法 [P]. 
姚力军 ;
赵凯 ;
相原俊夫 ;
大岩一彦 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
袁海军 .
中国专利 :CN104668883A ,2015-06-03
[5]
铜靶材的加工方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
鲍伟江 ;
刘庆 .
中国专利 :CN101619429A ,2010-01-06
[6]
铜靶材的加工方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
鲍伟江 ;
刘庆 .
中国专利 :CN101619430A ,2010-01-06
[7]
一种靶材背板表面的抛光处理方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
廖培君 .
中国专利 :CN110877235B ,2020-03-13
[8]
靶材溅射面的加工方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
相原俊夫 ;
王学泽 ;
梁泽民 .
中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06
[9]
一种靶材表面的加工方法 [P]. 
姚力军 ;
戴振茜 ;
钟伟华 .
中国专利 :CN120138571A ,2025-06-13
[10]
一种铝靶材的表面处理方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王锦 ;
王学泽 .
中国专利 :CN118513780A ,2024-08-20