一种靶材背板表面的抛光处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911221551.X

申请日：

2019-12-03

公开(公告)号：

CN110877235B

公开(公告)日：

2020-03-13

发明(设计)人：

姚力军潘杰边逸军王学泽廖培君

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B5702

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	授权	授权
2020-04-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20191203
2020-03-13	公开	公开

共 50 条

[1]

铜靶材表面的处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106346344A ,2017-01-25

[2]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[3]

一种LCD靶材的表面抛光方法 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

张晓驰 ;

范文新 .

中国专利 :CN118288118A ,2024-07-05

[4]

一种靶材背板水道口的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

丁路亚 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN117444724A ,2024-01-26

[5]

一种靶材与背板的连接方法 [P].

何金江 ;

高岩 ;

郭力山 ;

王欣平 ;

熊晓东 ;

尚再艳 ;

江轩 .

中国专利 :CN102181836B ,2011-09-14

[6]

一种LCD靶材的抛光处理方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN119772665A ,2025-04-08

[7]

一种一体靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

王青松 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN120080201A ,2025-06-03

[8]

一种能够对靶材起到保护作用的靶材背板 [P].

白杨杨 .

中国专利 :CN218404375U ,2023-01-31

[9]

靶材组件溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104668883A ,2015-06-03

[10]

一种铝靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王锦 ;

王学泽 .

中国专利 :CN118513780A ,2024-08-20

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