靶材组件溅射面的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310643252.1

申请日：

2013-12-03

公开(公告)号：

CN104668883A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

姚力军赵凯相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽袁海军

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

B23P1302

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

张亚利;骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-03	公开	公开
2018-12-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23P 13/02 申请公布日:20150603
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615754157 IPC(主分类):B23P 13/02 专利申请号:2013106432521 申请日:20131203

共 50 条

[1]

靶材溅射面的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

梁泽民 .

中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06

[2]

铜靶材表面的处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106346344A ,2017-01-25

[3]

一种钽靶材及其溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

冯周瑜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN112828541A ,2021-05-25

[4]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[5]

靶材混合溅射方法及系统 [P].

赵飞 ;

陈超 ;

王志坚 ;

陈涛 ;

冯燕佳 .

中国专利 :CN121161246A ,2025-12-19

[6]

一种一体靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

王青松 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN120080201A ,2025-06-03

[7]

靶材组件的表面处理方法和工具 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李健成 .

中国专利 :CN106378493A ,2017-02-08

[8]

靶材组件的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN107866721A ,2018-04-03

[9]

一种靶材背板表面的抛光处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

廖培君 .

中国专利 :CN110877235B ,2020-03-13

[10]

一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN113042974A ,2021-06-29

← 1 2 3 4 5 →