一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110190968.5

申请日：

2021-02-18

公开(公告)号：

CN113042974A

公开(公告)日：

2021-06-29

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽李宁

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B23P1500

IPC分类号：

B23B100 C23C1434

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B23P 15/00 申请日:20210218
2021-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

钛靶材表面的处理方法 [P].

姚立军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

俞柏森 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101597729A ,2009-12-09

[2]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[3]

一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

周敏 .

中国专利 :CN113481475A ,2021-10-08

[4]

钛靶材的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101613851B ,2009-12-30

[5]

一种靶材背板及钛靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

袁波 .

中国专利 :CN212834002U ,2021-03-30

[6]

钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

宋佳 .

中国专利 :CN103691953A ,2014-04-02

[7]

一种钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120210749A ,2025-06-27

[8]

一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN111185659A ,2020-05-22

[9]

一种钛靶材的机械加工方法 [P].

姚力军 ;

王刚 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN119216640A ,2024-12-31

[10]

一种钛靶材组件的车削方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

徐蔓 .

中国专利 :CN112404461A ,2021-02-26

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