一种钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510375803.3

申请日：

2025-03-27

公开(公告)号：

CN120210749A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

姚力军朱雪明王青松许国

申请人：

合肥江丰电子材料有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区大禹路1555号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

刘春青

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开
2025-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250327

共 50 条

[1]

一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120174316A ,2025-06-20

[2]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[3]

钛靶材表面的处理方法 [P].

姚立军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

俞柏森 ;

鲍伟江 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101597729A ,2009-12-09

[4]

一种靶材背板及钛靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

袁波 .

中国专利 :CN212834002U ,2021-03-30

[5]

一种铜靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

刘胜秀 ;

周伟君 ;

王青松 .

中国专利 :CN121137542A ,2025-12-16

[6]

一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN113042974A ,2021-06-29

[7]

一种钛靶材和铜背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

张俊豪 ;

王青松 ;

丁路亚 .

中国专利 :CN120095303A ,2025-06-06

[8]

一种钛靶材和铜背板的焊接方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN112059349A ,2020-12-11

[9]

钛靶材的溅射表面加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN105755435A ,2016-07-13

[10]

一种钛靶材和背板的扩散焊接方法及制得的钛靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN111185659A ,2020-05-22

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