一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110003425.8

申请日：

2021-01-04

公开(公告)号：

CN112809455A

公开(公告)日：

2021-05-18

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽李岢

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B4900 B24B2100 B24B5502 C23C1434

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20210104
2021-05-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[2]

一种一体靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

王青松 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN120080201A ,2025-06-03

[3]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672B ,2025-03-25

[4]

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

陈石 ;

廖培君 .

中国专利 :CN115415672A ,2022-12-02

[5]

一种钕铝靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111958333A ,2020-11-20

[6]

一种钼靶材溅射面的抛光工艺 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

刘明健 .

中国专利 :CN111975465A ,2020-11-24

[7]

靶材溅射面的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

梁泽民 .

中国专利 :CN107662083A ,2018-02-06

[8]

一种旋转靶材溅射面的车削方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN113001114A ,2021-06-22

[9]

一种钛靶材溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN113021125B ,2021-06-25

[10]

狗骨型靶材溅射面抛光方法及抛光设备 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

范文新 .

中国专利 :CN120791525A ,2025-10-17

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