一种钨硅靶材及其溅射面的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110003425.8

申请日：

2021-01-04

公开(公告)号：

CN112809455A

公开(公告)日：

2021-05-18

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽李岢

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B4900 B24B2100 B24B5502 C23C1434

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20210104
2021-05-18	公开	公开

共 50 条

[41]

一种LCD靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵丽 ;

张晓驰 ;

范文新 ;

周伟君 .

中国专利 :CN114686827A ,2022-07-01

[42]

一种靶材安装结构、磁控溅射设备及磁控溅射方法 [P].

卢静 .

中国专利 :CN112899627B ,2021-06-04

[43]

一种含铝靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN113084674A ,2021-07-09

[44]

一种含钼靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN112975593A ,2021-06-18

[45]

一种含铜靶材的自动抛光工艺方法 [P].

姚力军 ;

窦兴贤 ;

王学泽 ;

王青松 ;

杨欢 .

中国专利 :CN113182941A ,2021-07-30

[46]

靶材溅射面加工的刀具以及加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

钱百峰 .

中国专利 :CN109261998B ,2019-01-25

[47]

一种ITO靶材的抛光清洗方法 [P].

余芳 ;

文崇斌 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113231893A ,2021-08-10

[48]

一种LCD靶材的表面抛光方法 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

张晓驰 ;

范文新 .

中国专利 :CN118288118A ,2024-07-05

[49]

一种铜靶材侧边的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵丽 ;

李闯 ;

张晓驰 .

中国专利 :CN113400104A ,2021-09-17

[50]

一种钨靶材的镜面磨抛加工方法及其应用 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

顾凌翔 ;

沈学峰 .

中国专利 :CN121132495A ,2025-12-16

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