一种ITO靶材的抛光清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110446819.0

申请日：

2021-04-23

公开(公告)号：

CN113231893A

公开(公告)日：

2021-08-10

发明(设计)人：

余芳文崇斌童培云朱刘

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B4104 B24B2902 C23C1434

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;魏微

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20210423
2021-08-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种靶材抛光方法 [P].

徐雷 ;

岳晓聪 ;

黄宇彬 ;

蔡新志 ;

童培云 .

中国专利 :CN119077596A ,2024-12-06

[2]

一种靶材的清洗方法 [P].

陈伟 ;

余芳 ;

钱坤 .

中国专利 :CN118809456A ,2024-10-22

[3]

一种LCD旋转靶材的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

刘胜秀 ;

周伟君 ;

王青松 .

中国专利 :CN117718806A ,2024-03-19

[4]

一种LCD靶材的表面抛光方法 [P].

姚力军 ;

赵浩 ;

张晓驰 ;

范文新 .

中国专利 :CN118288118A ,2024-07-05

[5]

一种含钪靶材的抛光清洁方法 [P].

张俊飞 ;

蔡新志 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN115805509B ,2025-07-08

[6]

一种旋转靶材外壁抛光装置 [P].

姚力军 ;

丁向前 ;

王青松 .

中国专利 :CN223353924U ,2025-09-19

[7]

一种靶材溅射面的抛光方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

徐礼升 .

中国专利 :CN113770901A ,2021-12-10

[8]

一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法 [P].

姚力军 ;

胡全 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN119468628B ,2025-11-04

[9]

一种靶材喷砂清洗后防氧化的方法 [P].

姚力军 ;

胡全 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN119468628A ,2025-02-18

[10]

一种LCD靶材侧边的抛光处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

赵丽 ;

张晓驰 ;

范文新 ;

周伟君 .

中国专利 :CN114770228A ,2022-07-22

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