一种钽靶材反溅射层的加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110844966.3

申请日：

2021-07-26

公开(公告)号：

CN113846299A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽章丽娜

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C402 B24C106

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	公开	公开
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20210726

共 50 条

[1]

一种钨钛靶材反溅射层的去除方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

李佳奇 .

中国专利 :CN118061086A ,2024-05-24

[2]

一种钽靶材组件的焊接方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

廖培君 ;

华东瑜 .

中国专利 :CN113458523A ,2021-10-01

[3]

一种钽靶材及其溅射面的处理方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

冯周瑜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN112828541A ,2021-05-25

[4]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572225A ,2014-02-12

[5]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572223A ,2014-02-12

[6]

钽粉末的提纯方法及钽靶材 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN102517460B ,2012-06-27

[7]

一种钽靶材组件的焊接方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN112222593B ,2021-01-15

[8]

一种铝靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

朱雪明 ;

王青松 ;

许国 .

中国专利 :CN120174316A ,2025-06-20

[9]

一种钽靶材的锻造方法 [P].

汪凯 ;

李桂鹏 ;

李兆博 ;

黄志学 ;

宿康宁 ;

马小文 ;

任志东 .

中国专利 :CN104532196B ,2015-04-22

[10]

一种钽靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104419901A ,2015-03-18

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