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一种靶材表面抛光清洁方法与系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510847624.5
申请日：
2025-06-24
公开(公告)号：
CN120714966A
公开(公告)日：
2025-09-30
发明(设计)人：
蔡锦龙
李佳珍
陈柏熹
申请人：
绍兴芯链半导体科技有限公司
申请人地址：
312025 浙江省绍兴市柯桥区钱清中国轻纺原料城A1幢四楼20号
IPC主分类号：
B08B7/00
IPC分类号：
B08B13/00
C23C14/34
G01N21/01
G01N21/95
H01L21/02
代理机构：
北京市领专知识产权代理有限公司 11590
代理人：
卢洋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-30 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20250624 |
| 2025-12-19 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):B08B 7/00变更事项:申请人变更前:绍兴芯链半导体科技有限公司变更后:绍兴芯链半导体科技有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:312025 浙江省绍兴市柯桥区钱清中国轻纺原料城A1幢四楼20号变更后:312025 浙江省绍兴市柯桥区钱清街道光电路98号 |