一种硅片抛光液生产检测系统

被引：0

申请号：

CN202220644772.9

申请日：

2022-03-22

公开(公告)号：

CN217033658U

公开(公告)日：

2022-07-22

发明(设计)人：

陶翔申博元陈苏兰

申请人：

申请人地址：

314001 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇步焦路1688号1幢三楼

IPC主分类号：

G01N2184

IPC分类号：

G01N114 G01N1100 G01K1300

代理机构：

浙江永鼎律师事务所 33233

代理人：

周祥玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片生产抛光液反应检测装置 [P].

高萌 .

中国专利 :CN221933320U ,2024-11-01

[2]

一种硅片抛光液用回收装置 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214913812U ,2021-11-30

[3]

一种硅片抛光液回收再生装置 [P].

高如山 .

中国专利 :CN222238976U ,2024-12-27

[4]

一种硅片抛光液制备用取样装置 [P].

井锋 ;

张俊华 ;

田建颖 ;

雷双双 .

中国专利 :CN221038224U ,2024-05-28

[5]

一种抛光液过滤系统 [P].

余秀谋 .

中国专利 :CN209223843U ,2019-08-09

[6]

一种抛光液配制系统 [P].

胡晓亮 ;

赵文龙 ;

高烨 ;

崔小换 .

中国专利 :CN204563966U ,2015-08-19

[7]

一种抛光液管理系统 [P].

王永成 .

中国专利 :CN213828561U ,2021-07-30

[8]

抛光液输送系统 [P].

程艳蒙 ;

张洁 ;

林武庆 ;

汪良 .

中国专利 :CN215588854U ,2022-01-21

[9]

一种氧化铝抛光液生产装置 [P].

阳震 ;

王田军 ;

何伟东 ;

郑艳琴 .

中国专利 :CN206494887U ,2017-09-15

[10]

一种抛光液的生产装置 [P].

郭观发 .

中国专利 :CN222534754U ,2025-02-28

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