抛光液输送系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121862435.9

申请日：

2021-08-10

公开(公告)号：

CN215588854U

公开(公告)日：

2022-01-21

发明(设计)人：

程艳蒙张洁林武庆汪良

申请人：

申请人地址：

362200 福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B3704 B24B37013

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

严诚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-21	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光液输送结构及抛光装置 [P].

万先进 ;

胡孟杰 ;

李俊 ;

尤国振 ;

张怀东 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220575620U ,2024-03-12

[2]

抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统 [P].

路新春 ;

潘燕 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102175064A ,2011-09-07

[3]

抛光液输送装置 [P].

许振杰 ;

赵德文 ;

沈攀 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN108326748B ,2018-07-27

[4]

抛光液输送装置 [P].

潘峰 ;

赵永进 ;

王文丽 ;

陈威 ;

薛书亮 ;

张博 .

中国专利 :CN113290507A ,2021-08-24

[5]

抛光液输送装置 [P].

路新春 ;

潘燕 ;

许振杰 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102335877A ,2012-02-01

[6]

斋江俊之 ;

上村哲也 .

中国专利 :CN101397481A ,2009-04-01

[7]

上村哲也 ;

斋江俊之 ;

吉川将 .

中国专利 :CN101255316A ,2008-09-03

[8]

自清洁抛光液输送装置 [P].

许振杰 ;

董兵超 ;

贾弘源 ;

姚宇 ;

尹士龙 ;

崔凯 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN208020018U ,2018-10-30

[9]

抛光液温度控制装置和抛光液输送设备 [P].

路新春 ;

潘燕 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102430979A ,2012-05-02

[10]

化学机械抛光的抛光液及输送系统 [P].

刘立中 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102773804A ,2012-11-14

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