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抛光液

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810009627.8
申请日：
2008-02-19
公开(公告)号：
CN101255316A
公开(公告)日：
2008-09-03
发明(设计)人：
上村哲也 斋江俊之 吉川将
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
C09G118
IPC分类号：
H01L21304
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人：
陈平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2012-11-07 授权 授权
2010-01-27 实质审查的生效 实质审查的生效
2008-09-03 公开 公开
共 50 条
[1]
抛光液 [P]. 
斋江俊之 ;
上村哲也 .
中国专利 :CN101397481A ,2009-04-01
[2]
阻挡层用抛光液 [P]. 
上村哲也 ;
竹之内研二 .
中国专利 :CN101012356A ,2007-08-08
[3]
抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P]. 
上村哲也 .
中国专利 :CN101397482A ,2009-04-01
[4]
抛光液和抛光方法 [P]. 
斋江俊之 .
中国专利 :CN101397480A ,2009-04-01
[5]
金属抛光液和使用该金属抛光液的抛光方法 [P]. 
富贺敬充 ;
加藤知夫 .
中国专利 :CN101230238A ,2008-07-30
[6]
抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P]. 
上村哲也 .
中国专利 :CN101333417A ,2008-12-31
[7]
钨抛光液 [P]. 
闵学勇 ;
邢振林 .
中国专利 :CN101781766A ,2010-07-21
[8]
硅铈抛光液及其制备方法 [P]. 
张海龙 ;
张磊 ;
王红艳 .
中国专利 :CN104312441B ,2015-01-28
[9]
介电层抛光液 [P]. 
闵学勇 ;
邢振林 .
中国专利 :CN101781522A ,2010-07-21
[10]
抛光液 [P]. 
杨伟明 .
中国专利 :CN1891777A ,2007-01-10
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