抛光液和抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810130951.5

申请日：

2008-09-17

公开(公告)号：

CN101397480A

公开(公告)日：

2009-04-01

发明(设计)人：

斋江俊之

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09K314 H01L21321 H01L21768 B24B2902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-01	公开	公开
2014-07-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101702466777 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2008101309515 申请公布日:20090401
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005701547 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2008101309515 申请日:20080917

共 50 条

[1]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101397482A ,2009-04-01

[2]

斋江俊之 ;

上村哲也 .

中国专利 :CN101397481A ,2009-04-01

[3]

上村哲也 ;

斋江俊之 ;

吉川将 .

中国专利 :CN101255316A ,2008-09-03

[4]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101333417A ,2008-12-31

[5]

金属抛光液和抛光方法 [P].

山田彻 ;

菊池信 ;

稻叶正 ;

松野孝洋 ;

富贺敬充 ;

高桥和敬 .

中国专利 :CN101275057A ,2008-10-01

[6]

抛光液及应用该抛光液对CdS晶片抛光的抛光方法 [P].

李晖 ;

徐永宽 ;

程红娟 .

中国专利 :CN102952467A ,2013-03-06

[7]

金属抛光液和使用该金属抛光液的抛光方法 [P].

富贺敬充 ;

加藤知夫 .

中国专利 :CN101230238A ,2008-07-30

[8]

化学机械抛光液和抛光方法 [P].

许雪峰 ;

彭伟 ;

姚春燕 ;

胡建德 .

中国专利 :CN101870851A ,2010-10-27

[9]

一种铝化学抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

吴育祥 ;

李德荣 ;

何友余 .

中国专利 :CN105331979B ,2016-02-17

[10]

杨伟明 .

中国专利 :CN1891777A ,2007-01-10

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