金属抛光液和使用该金属抛光液的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810004625.X

申请日：

2008-01-21

公开(公告)号：

CN101230238A

公开(公告)日：

2008-07-30

发明(设计)人：

富贺敬充加藤知夫

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C09G118

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-30	公开	公开
2012-12-26	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101489362411 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:200810004625X 申请公布日:20080730
2010-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

金属抛光液和抛光方法 [P].

山田彻 ;

菊池信 ;

稻叶正 ;

松野孝洋 ;

富贺敬充 ;

高桥和敬 .

中国专利 :CN101275057A ,2008-10-01

[2]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101333417A ,2008-12-31

[3]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101397482A ,2009-04-01

[4]

抛光液及应用该抛光液对CdS晶片抛光的抛光方法 [P].

李晖 ;

徐永宽 ;

程红娟 .

中国专利 :CN102952467A ,2013-03-06

[5]

金属抛光液 [P].

高熠辉 .

中国专利 :CN102953063B ,2013-03-06

[6]

上村哲也 ;

斋江俊之 ;

吉川将 .

中国专利 :CN101255316A ,2008-09-03

[7]

抛光液和抛光方法 [P].

斋江俊之 .

中国专利 :CN101397480A ,2009-04-01

[8]

抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统 [P].

路新春 ;

潘燕 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102175064A ,2011-09-07

[9]

一种抛光液及采用该抛光液的抛光方法 [P].

徐贤德 .

中国专利 :CN109536038A ,2019-03-29

[10]

抛光液、抛光机以及抛光方法 [P].

王同庆 ;

王婕 ;

路新春 .

中国专利 :CN105773399A ,2016-07-20

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