阻挡层用抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710008374.8

申请日：

2007-01-29

公开(公告)号：

CN101012356A

公开(公告)日：

2007-08-08

发明(设计)人：

上村哲也竹之内研二

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09G118 H01L21302

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

柳春琦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-08-08	公开	公开
2013-01-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101495209062 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2007100083748 申请公布日:20070808

共 50 条

[1]

多组分阻挡层抛光液 [P].

卞锦儒 ;

刘振东 .

中国专利 :CN101016440A ,2007-08-15

[2]

一种TSV阻挡层抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN103146306A ,2013-06-12

[3]

一种阻挡层化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 .

中国专利 :CN101463225A ,2009-06-24

[4]

一种用于阻挡层抛光的酸性抛光液 [P].

李星 ;

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN106928863A ,2017-07-07

[5]

上村哲也 ;

斋江俊之 ;

吉川将 .

中国专利 :CN101255316A ,2008-09-03

[6]

多层铜互连阻挡层抛光液及其制备方法 [P].

王辰伟 ;

刘玉岭 ;

罗翀 ;

周建伟 ;

牛新环 ;

王如 .

中国专利 :CN112322190A ,2021-02-05

[7]

铜布线钼阻挡层化学机械抛光液及其制备方法 [P].

张保国 ;

宋家坤 ;

陈康 ;

王月鹏 ;

刘世桐 ;

咸文豪 ;

吴佳伟 ;

秦思慧 .

中国专利 :CN120904794A ,2025-11-07

[8]

一种多层铜互连阻挡层用抛光液及其制备方法 [P].

惠宏业 ;

庞雪柯 ;

姚力军 ;

朱海青 .

中国专利 :CN119220181A ,2024-12-31

[9]

碱性阻挡层抛光浆液 [P].

T·托马斯 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN101302405A ,2008-11-12

[10]

阻挡层抛光流体 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1616571A ,2005-05-18

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