多组分阻挡层抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710005150.1

申请日：

2007-02-07

公开(公告)号：

CN101016440A

公开(公告)日：

2007-08-15

发明(设计)人：

卞锦儒刘振东

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C09G104

IPC分类号：

C09G102 H01L21304

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沙永生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	授权	授权
2007-08-15	公开	公开
2007-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

阻挡层用抛光液 [P].

上村哲也 ;

竹之内研二 .

中国专利 :CN101012356A ,2007-08-08

[2]

阻挡层抛光溶液 [P].

刘振东 ;

J·匡西 ;

R·E·施密特 ;

T·M·托马斯 .

中国专利 :CN1696235B ,2005-11-16

[3]

一种阻挡层化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

宋伟红 .

中国专利 :CN101463225A ,2009-06-24

[4]

一种TSV阻挡层抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN103146306A ,2013-06-12

[5]

一种用于阻挡层抛光的酸性抛光液 [P].

李星 ;

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN106928863A ,2017-07-07

[6]

多层铜互连阻挡层抛光液及其制备方法 [P].

王辰伟 ;

刘玉岭 ;

罗翀 ;

周建伟 ;

牛新环 ;

王如 .

中国专利 :CN112322190A ,2021-02-05

[7]

钌－阻挡层抛光浆料 [P].

刘振东 .

中国专利 :CN101205442A ,2008-06-25

[8]

阻挡层抛光流体 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1616571A ,2005-05-18

[9]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

潘依君 ;

荆建芬 ;

杜玲曦 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

王春梅 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250973A ,2018-07-06

[10]

一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杜玲曦 ;

杨俊雅 ;

张建 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

王雨春 .

中国专利 :CN108250977B ,2018-07-06

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