阻挡层抛光溶液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510067350.0

申请日：

2005-04-20

公开(公告)号：

CN1696235B

公开(公告)日：

2005-11-16

发明(设计)人：

刘振东 J·匡西 R·E·施密特 T·M·托马斯

申请人：

申请人地址：

美国特拉华

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

范征

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-11-16	公开	公开
2014-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

高速阻挡层抛光组合物 [P].

卞锦儒 ;

胡凯 ;

李煦 ;

刘振东 ;

J·匡西 ;

M·R·万哈尼赫姆 .

中国专利 :CN1616574A ,2005-05-18

[2]

钽阻挡层去除溶液 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1319132C ,2005-07-20

[3]

阻挡层抛光流体 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1616571A ,2005-05-18

[4]

碱性阻挡层抛光浆液 [P].

T·托马斯 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN101302405A ,2008-11-12

[5]

多组分阻挡层抛光液 [P].

卞锦儒 ;

刘振东 .

中国专利 :CN101016440A ,2007-08-15

[6]

钌－阻挡层抛光浆料 [P].

刘振东 .

中国专利 :CN101205442A ,2008-06-25

[7]

去除聚合物阻挡层的抛光浆液 [P].

卞锦儒 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN101760137A ,2010-06-30

[8]

阻挡层用抛光液 [P].

上村哲也 ;

竹之内研二 .

中国专利 :CN101012356A ,2007-08-08

[9]

用于去除阻挡层的组合物和方法 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1630045A ,2005-06-22

[10]

扩散阻挡层和扩散阻挡层的制造方法 [P].

M·哈拉兹奥尔松 ;

H·特兰夸克 ;

A·加利相 .

中国专利 :CN1977404A ,2007-06-06

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