去除聚合物阻挡层的抛光浆液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910265947.4

申请日：

2009-12-21

公开(公告)号：

CN101760137A

公开(公告)日：

2010-06-30

发明(设计)人：

卞锦儒叶倩萩

申请人：

申请人地址：

美国特拉华州

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L213105

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋;周承泽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005085976 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009102659474 申请日:20091221
2010-06-30	公开	公开
2014-06-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701638854 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009102659474 申请公布日:20100630

共 50 条

[1]

可除去聚合物阻挡层的抛光浆液 [P].

T·M·托马斯 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN1927975B ,2007-03-14

[2]

用来除去聚合物阻挡层的抛光浆液 [P].

卞锦儒 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN101358109A ,2009-02-04

[3]

碱性阻挡层抛光浆液 [P].

T·托马斯 ;

叶倩萩 .

中国专利 :CN101302405A ,2008-11-12

[4]

选择性阻挡层抛光浆液 [P].

叶倩萩 ;

卞锦儒 .

中国专利 :CN101358108A ,2009-02-04

[5]

高速阻挡层抛光组合物 [P].

卞锦儒 ;

胡凯 ;

李煦 ;

刘振东 ;

J·匡西 ;

M·R·万哈尼赫姆 .

中国专利 :CN1616574A ,2005-05-18

[6]

钌－阻挡层抛光浆料 [P].

刘振东 .

中国专利 :CN101205442A ,2008-06-25

[7]

阻挡层抛光溶液 [P].

刘振东 ;

J·匡西 ;

R·E·施密特 ;

T·M·托马斯 .

中国专利 :CN1696235B ,2005-11-16

[8]

聚合物阻隔移除抛光浆料 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN102367366A ,2012-03-07

[9]

钽阻挡层去除溶液 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1319132C ,2005-07-20

[10]

阻挡层抛光流体 [P].

卞锦儒 .

中国专利 :CN1616571A ,2005-05-18

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