化学机械抛光的抛光液及输送系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110170072.7

申请日：

2011-06-21

公开(公告)号：

CN102773804A

公开(公告)日：

2012-11-14

发明(设计)人：

刘立中陈逸男刘献文

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园县

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

深圳新创友知识产权代理有限公司 44223

代理人：

江耀纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101375920178 IPC(主分类):B24B 57/02 专利申请号:2011101700727 申请日:20110621
2014-12-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101708897599 IPC(主分类):B24B 57/02 专利申请号:2011101700727 申请公布日:20121114
2012-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

抛光液输送装置和化学机械抛光设备 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

路新春 .

中国专利 :CN113442058A ,2021-09-28

[2]

一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN116240550B ,2025-04-15

[3]

化学机械抛光研磨液输送系统及化学机械抛光研磨设备 [P].

路新春 ;

潘燕 ;

王同庆 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102240976A ,2011-11-16

[4]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[5]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[6]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[7]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[8]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[9]

水性抛光液和化学机械抛光方法 [P].

加藤知夫 .

中国专利 :CN1939995A ,2007-04-04

[10]

用于化学机械抛光的抛光液防溅装置和化学机械抛光设备 [P].

梁清波 ;

王同庆 .

中国专利 :CN114367920A ,2022-04-19

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