化学机械抛光液

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411314487.0
申请日
2024-09-20
公开(公告)号
CN118813141B
公开(公告)日
2025-04-01
发明(设计)人
赵铁均 张延风 杜新蕊
申请人
江苏集萃催化材料有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市相城区高铁新城太阳路2266号5幢(1号厂房)2层205室-A042工位
IPC主分类号
C09G1/02
IPC分类号
H01L21/306
代理机构
苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙) 32547
代理人
张印铎;杨新星
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
化学机械抛光液 [P]. 
赵铁均 ;
张延风 ;
杜新蕊 .
中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22
[2]
化学机械抛光液 [P]. 
杨云忠 .
中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25
[3]
化学机械抛光液 [P]. 
王良咏 ;
宋志棠 ;
刘卫丽 ;
刘波 ;
钟旻 ;
何敖东 .
中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26
[4]
钽化学机械抛光液的制备方法 [P]. 
刘玉岭 ;
王胜利 ;
穆会来 .
中国专利 :CN102010660A ,2011-04-13
[5]
一种化学机械抛光液及其制备方法 [P]. 
刘源 ;
保罗·邦凡蒂 .
中国专利 :CN108117842A ,2018-06-05
[6]
化学机械抛光液 [P]. 
杨春晓 ;
俞昌 ;
肖正龙 ;
荆建芬 .
中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24
[7]
化学机械抛光液及其应用 [P]. 
赵东旭 .
中国专利 :CN113249035A ,2021-08-13
[8]
化学机械抛光液及其应用 [P]. 
赵东旭 .
中国专利 :CN113249035B ,2024-05-24
[9]
一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P]. 
张力飞 ;
王同庆 ;
路新春 .
中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02
[10]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
尹先升 ;
房庆华 ;
王雨春 .
中国专利 :CN104650736A ,2015-05-27