钽化学机械抛光液的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010231454.1

申请日：

2010-07-21

公开(公告)号：

CN102010660A

公开(公告)日：

2011-04-13

发明(设计)人：

刘玉岭王胜利穆会来

申请人：

申请人地址：

300130 天津市红桥区光荣道8号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

天津市三利专利商标代理有限公司 12107

代理人：

杨红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101074540252 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2010102314541 申请日:20100721
2011-04-13	公开	公开
2013-03-06	授权	授权
2018-08-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20100721 授权公告日:20130306 终止日期:20170721

共 50 条

[1]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[2]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[3]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[4]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[5]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

章建群 ;

章慧云 ;

黄晓伟 ;

刘华 ;

龚建国 .

中国专利 :CN105623526A ,2016-06-01

[6]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

陈凌 ;

王琰 ;

任琪 ;

程晓 .

中国专利 :CN104293207A ,2015-01-21

[7]

钨钼合金材料化学机械抛光液的制备方法 [P].

刘玉岭 ;

潘国峰 ;

陈海涛 .

中国专利 :CN102010658A ,2011-04-13

[8]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[9]

氮化镓化学机械抛光液及其制备方法 [P].

王永光 ;

钮市伟 ;

寇清明 ;

陈瑶 ;

赵栋 ;

朱玉广 ;

刘卫卫 .

中国专利 :CN110205034A ,2019-09-06

[10]

一种化学机械抛光液及其制备方法 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN108117842A ,2018-06-05

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