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类金刚石-碳化硅复合薄膜的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310158139.4
申请日：
2013-05-02
公开(公告)号：
CN104131264A
公开(公告)日：
2014-11-05
发明(设计)人：
许嘉麟
申请人：
申请人地址：
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
IPC主分类号：
C23C1622
IPC分类号：
C23C1650
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-11-05 | 公开 | 公开 |
| 2016-12-21 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101743568048 IPC(主分类):C23C 16/22 专利申请号:2013101581394 申请公布日:20141105 |