一种光刻胶组合物和形成光刻图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510781719.8

申请日：

2015-11-16

公开(公告)号：

CN105301900A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

陈哲任鲁风殷金龙

申请人：

申请人地址：

101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-03	公开	公开
2018-06-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/004 申请公布日:20160203
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649090891 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2015107817198 申请日:20151116

共 50 条

[1]

一种形成光刻胶组合物 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301903A ,2016-02-03

[2]

一种光刻胶图案的形成方法 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301916A ,2016-02-03

[3]

一种光刻胶组合物及其制备方法 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301904B ,2016-02-03

[4]

光刻胶组合物和形成光刻图案的方法 [P].

Y·C·裴 ;

T·卡多拉西亚 ;

孙纪斌 ;

D·J·阿里奥拉 ;

K·A·弗雷泽 .

中国专利 :CN102445848A ,2012-05-09

[5]

光刻胶组合物和形成光刻图案的方法 [P].

朴钟根 ;

C·N·李 ;

C·安德斯 ;

D·王 .

中国专利 :CN103576458A ,2014-02-12

[6]

负性光刻胶组合物和形成光刻胶图案的方法 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN112731764A ,2021-04-30

[7]

一种正性光刻胶组合物的制备方法 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301901A ,2016-02-03

[8]

一种正性光刻胶组合物 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301907A ,2016-02-03

[9]

一种光刻胶组合物 [P].

王雪岚 .

中国专利 :CN103792789A ,2014-05-14

[10]

一种光刻胶组合物和形成光刻胶的图案的方法 [P].

杨遇春 ;

刘启升 ;

卜江 ;

王桥 .

中国专利 :CN118131565A ,2024-06-04

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