一种正性光刻胶组合物的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510781931.4

申请日：

2015-11-16

公开(公告)号：

CN105301901A

公开(公告)日：

2016-02-03

发明(设计)人：

陈哲任鲁风殷金龙

申请人：

申请人地址：

101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7027

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/004 申请公布日:20160203
2016-02-03	公开	公开
2016-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101649084082 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2015107819314 申请日:20151116

共 50 条

[1]

一种正性光刻胶组合物 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301907A ,2016-02-03

[2]

一种正性光刻胶组合物及其制备方法 [P].

徐娟 ;

周建 ;

王猛 .

中国专利 :CN112650025A ,2021-04-13

[3]

一种光刻胶组合物及其制备方法 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301904B ,2016-02-03

[4]

一种形成光刻胶组合物 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301903A ,2016-02-03

[5]

一种光刻胶组合物和形成光刻图案的方法 [P].

陈哲 ;

任鲁风 ;

殷金龙 .

中国专利 :CN105301900A ,2016-02-03

[6]

一种正性光刻胶及其制备方法 [P].

徐亮 ;

郑祥飞 ;

季昌彬 ;

张春 ;

陈韦帆 .

中国专利 :CN117761970A ,2024-03-26

[7]

一种正性光刻胶组合物 [P].

何卿 ;

胡凡华 ;

朴大然 ;

卢克军 ;

张宁 .

中国专利 :CN113946099A ,2022-01-18

[8]

一种正性光刻胶组合物 [P].

何卿 ;

胡凡华 ;

朴大然 ;

卢克军 ;

张宁 .

中国专利 :CN113946099B ,2024-07-05

[9]

一种正性光刻胶组合物 [P].

吴世泰 ;

韩冬 .

中国专利 :CN115494696A ,2022-12-20

[10]

一种正性光刻胶组合物 [P].

吴世泰 ;

韩冬 .

中国专利 :CN115494696B ,2024-12-31

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