堆积物监视装置及真空泵

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710415007.3

申请日：

2017-06-05

公开(公告)号：

CN107795498B

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

坪川彻也

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地

IPC主分类号：

F04D1904

IPC分类号：

F04D2700

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-02	授权	授权
2018-03-13	公开	公开
2018-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F04D 19/04 申请日:20170605

共 50 条

[1]

泵监视装置及真空泵 [P].

渡边耕太 .

中国专利 :CN110886698A ,2020-03-17

[2]

泵监视装置、真空泵、泵监视方法及存储介质 [P].

广田圣典 .

中国专利 :CN114251295A ,2022-03-29

[3]

泵监视装置、真空泵、泵监视方法及存储介质 [P].

广田圣典 .

日本专利 :CN114251295B ,2024-06-11

[4]

监视装置以及真空泵 [P].

小崎纯一郎 .

中国专利 :CN107304773B ,2017-10-31

[5]

泵监视装置、真空泵以及生成物堆积诊断用数据处理程序 [P].

玉井雄介 .

中国专利 :CN113631817A ,2021-11-09

[6]

除害装置、堆积物除去机构及堆积物除去方法 [P].

高桥克典 ;

田中正宏 ;

管锦泉 .

日本专利 :CN117859031A ,2024-04-09

[7]

堆积物排出系统及堆积物排出方法 [P].

土屋良明 ;

涉谷扔州 .

中国专利 :CN1190568C ,2003-04-09

[8]

泵监视装置、真空处理装置以及真空泵 [P].

玉井雄介 ;

野田阳 .

中国专利 :CN110546381A ,2019-12-06

[9]

堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统 [P].

枥木伟伸 ;

石原卓也 .

中国专利 :CN106017776A ,2016-10-12

[10]

泵监视装置、真空泵以及记录介质 [P].

玉井雄介 .

日本专利 :CN113631817B ,2024-03-08

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