泵监视装置、真空处理装置以及真空泵

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780089971.X

申请日：

2017-04-27

公开(公告)号：

CN110546381A

公开(公告)日：

2019-12-06

发明(设计)人：

玉井雄介野田阳

申请人：

申请人地址：

日本国京都府

IPC主分类号：

F04B4910

IPC分类号：

F04D1904

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-30	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):F04B 49/10 申请公布日:20191206
2019-12-06	公开	公开
2019-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F04B 49/10 申请日:20170427

共 50 条

[1]

监视装置以及真空泵 [P].

小崎纯一郎 .

中国专利 :CN107304773B ,2017-10-31

[2]

泵监视装置、真空泵以及记录介质 [P].

玉井雄介 .

日本专利 :CN113631817B ,2024-03-08

[3]

泵监视装置及真空泵 [P].

渡边耕太 .

中国专利 :CN110886698A ,2020-03-17

[4]

低温泵、真空处理装置 [P].

铃木直人 ;

村山吉信 ;

降矢新治 .

中国专利 :CN107304760A ,2017-10-31

[5]

真空处理方法以及真空处理装置 [P].

宫原弘臣 ;

西宫立享 .

中国专利 :CN101548365B ,2009-09-30

[6]

真空处理装置以及真空处理方法 [P].

前平谦 ;

铃木大地 ;

真濑江理子 ;

不破耕 .

中国专利 :CN103733318A ,2014-04-16

[7]

真空处理装置以及真空处理方法 [P].

仲田辉男 ;

野木庆太 ;

井上智己 ;

川口道则 .

中国专利 :CN102800615A ,2012-11-28

[8]

真空处理装置以及真空处理方法 [P].

笠原稔大 .

中国专利 :CN101136314A ,2008-03-05

[9]

真空泵以及真空泵的控制装置 [P].

深美英夫 .

中国专利 :CN113348305A ,2021-09-03

[10]

真空泵以及真空泵的控制装置 [P].

深美英夫 .

日本专利 :CN113348305B ,2025-02-07

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