共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-22 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-16 | 授权 | 授权 |
| 2021-07-06 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 33/38 变更事项:发明人 变更前:李树琪 蔡勇 变更后:李树琪 |
| 2021-01-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/38 申请日:20200922 |