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背照式图像传感器深沟槽隔离的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111408999.X
申请日：
2021-11-25
公开(公告)号：
CN114121774A
公开(公告)日：
2022-03-01
发明(设计)人：
程器
彭翔
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
H01L21762
IPC分类号：
H01L27146
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭立
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20211125 |
| 2022-03-01 | 公开 | 公开 |