基板传送引导装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010244037.4

申请日：

2020-03-31

公开(公告)号：

CN111834267A

公开(公告)日：

2020-10-27

发明(设计)人：

朴庸硕朴桓绪李贤情

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

方挺;黄谦

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20200331
2020-10-27	公开	公开

共 50 条

[1]

基板传送引导装置 [P].

朴庸硕 ;

朴桓绪 ;

李贤情 .

韩国专利 :CN111834267B ,2024-02-02

[2]

图像形成装置和传送引导装置 [P].

德永雅彰 ;

白井雅宪 ;

山田昌利 ;

柏原真文 ;

小出弘行 .

中国专利 :CN103019081A ,2013-04-03

[3]

基板传送装置 [P].

须山敏明 ;

川原慎 ;

山崎胜 ;

六川贵博 .

中国专利 :CN1939816A ,2007-04-04

[4]

基板传送装置 [P].

朴庸硕 ;

朴哲岐 .

中国专利 :CN113071900B ,2021-07-06

[5]

粮食传送系统及其传送引导装置 [P].

郭佳男 ;

郭记轴 ;

郭水平 .

中国专利 :CN207417834U ,2018-05-29

[6]

基板传送装置及基板清洗装置 [P].

石川智章 ;

松谷将树 .

中国专利 :CN213591336U ,2021-07-02

[7]

膜基板传送装置 [P].

西泽正纪 ;

横山勝治 ;

山田隆典 .

中国专利 :CN102770579A ,2012-11-07

[8]

气浮设备及其气流引导装置和玻璃基板传送系统 [P].

任晓金 ;

李青 ;

穆美强 ;

杜跃武 ;

张云晓 ;

孟伟华 ;

王树利 ;

申昊 ;

张国平 .

中国专利 :CN107814199A ,2018-03-20

[9]

气浮设备及其气流引导装置和玻璃基板传送系统 [P].

任晓金 ;

李青 ;

穆美强 ;

杜跃武 ;

张云晓 ;

孟伟华 ;

王树利 ;

申昊 ;

张国平 .

中国专利 :CN207497671U ,2018-06-15

[10]

基板检测装置和基板传送设备 [P].

八木周藏 ;

中根正雄 ;

礒端美伯 .

中国专利 :CN101925526A ,2010-12-22

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