基板传送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610141038.6

申请日：

2006-09-28

公开(公告)号：

CN1939816A

公开(公告)日：

2007-04-04

发明(设计)人：

须山敏明川原慎山崎胜六川贵博

申请人：

申请人地址：

日本长野县

IPC主分类号：

B65G1300

IPC分类号：

B65G4900 B65G4905 B65H916 B08B304 H01L21677 H01L21687 H05K1302

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司

代理人：

顾红霞;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-04	公开	公开
2008-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-04-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101082083186 IPC(主分类):B65G 13/00 专利申请号:2006101410386 公开日:20070404

共 50 条

[1]

基板传送装置 [P].

朴庸硕 ;

朴哲岐 .

中国专利 :CN113071900B ,2021-07-06

[2]

基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法 [P].

李健 ;

李晶晶 ;

刘浏 ;

李朝阳 ;

陈巍 ;

高亚东 ;

任立志 .

中国专利 :CN106976693B ,2017-07-25

[3]

基板传送装置及基板清洗装置 [P].

石川智章 ;

松谷将树 .

中国专利 :CN213591336U ,2021-07-02

[4]

膜基板传送装置 [P].

西泽正纪 ;

横山勝治 ;

山田隆典 .

中国专利 :CN102770579A ,2012-11-07

[5]

基板传送装置、传送基板的方法 [P].

郑先锋 ;

井杨坤 ;

宋晨 ;

舒文 ;

徐红祥 ;

林强 .

中国专利 :CN106697949B ,2017-05-24

[6]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

尹基燮 ;

郑智允 .

韩国专利 :CN118107961A ,2024-05-31

[7]

基板传送装置及基板传送系统 [P].

开田准一 .

中国专利 :CN113195170A ,2021-07-30

[8]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

新井理恵 ;

西部幸伸 ;

加藤峻 ;

二川进治 .

日本专利 :CN118355480A ,2024-07-16

[9]

基板传送装置和基板传送方法 [P].

丁晟宰 ;

张普舜 .

韩国专利 :CN118692963A ,2024-09-24

[10]

基板传送装置及基板传送方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN105417164B ,2016-03-23

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