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基板传送装置和基板传送方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280080449.6
申请日：
2022-12-16
公开(公告)号：
CN118355480A
公开(公告)日：
2024-07-16
发明(设计)人：
新井理恵
西部幸伸
加藤峻
二川进治
申请人：
芝浦机械电子装置株式会社
申请人地址：
日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目5番1号(邮递区号:247-8610)
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/304
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
何佳;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20221216 |
| 2024-07-16 | 公开 | 公开 |