共 50 条
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基板传送装置和使用该基板传送装置的基板传送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011535095.9
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN113053797B
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
卢希锡
崔相壹
全成基
赵俸秀
申请人：
三星电子株式会社
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
翟然
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-11 | 授权 | 授权 |